電子工業(yè)無塵車間的特點一是大，二是多變。幾千平方米、上萬平方米的面積并不少見。電子工業(yè)的技術(shù)更新快，工藝變了，平面布局就要跟著變，因此平面上不宜有固定的分隔，特別是很小的分隔。具體說，有以下一些獨特之處應加注意。

（1）平面由工藝決定，電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。

（2）主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。

（3）大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。

（4）應考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求，設(shè)置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。

（5）電子工業(yè)無塵車間按二級耐火等級設(shè)計。

（6）特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與無塵車間（區(qū)）分開，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應大于3M，儲存區(qū)設(shè)置的雨篷應不低于3.5M。

（7）電子工業(yè)無塵車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

（8）電子工業(yè)無塵車間允許設(shè)空氣吹淋室，這是和一般生物無塵車間不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按*大班人數(shù)為30人一間設(shè)計，當工作人員超過5人時，應設(shè)旁門，當人數(shù)太多或為了縮短通過時間，也可設(shè)遂道式吹淋室。

（9）對于**別無塵車間，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具。

（10）電子工業(yè)無塵車間常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、**的排除。

（11）電子工業(yè)無塵車間友有對防微振的特殊要求，在廠地環(huán)境上應避開振動源。

（12）電子工業(yè)無塵車間除有一般給排水要求外，對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準。

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電子工業(yè)無塵車間的環(huán)境參數(shù)

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