FFU為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為"風(fēng)機濾器單元（機組）"。也就是將風(fēng)機和過濾器（高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA））組合在一起構(gòu)成自身提供動力的末端凈化設(shè)備。

箱體材質(zhì)可依客戶需求，依環(huán)境需要采用不銹鋼或鋼板烤漆。風(fēng)機組附運轉(zhuǎn)指示燈及外接接點，以利監(jiān)控。風(fēng)機組附異常指示燈及外接接點，可自行檢視異常原因，于正常送電下風(fēng)機無運轉(zhuǎn)時．異常燈亮。（可能出現(xiàn)下列情況） :

特點：

**:靈活性。

因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，FFU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

**:可再利用性。

從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三:負(fù)壓通風(fēng)。

這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且**。

第四:縮短建設(shè)周期。

使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五:減少運行成本。

雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。